文献类型：期刊文章

作　　者：赖新宇[1] 姜宏[2] 赵会峰[1] 鲁鹏[1]

机构地区：[1]海南省特种玻璃工程技术研究中心,海南中航特玻材料有限公司,海口571924 [2]海南省特种玻璃重点实验室,海南大学,海口570100

出　　处：《硅酸盐学报》

年　　份：2013

卷　　号：41

期　　号：12

起止页码：1679-1684

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20140217179547)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用在线化学气相沉积法在玻璃基片上制备FTO(SnO2:F)薄膜,并通过调整原料MBTC(C4H9SnCl3)的含量实现FTO薄膜的雾度可控。采用雾度计、分光光度计、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和四探针方阻计研究了不同雾度的FTO薄膜的微观结构和光电性能,并分析了雾度形成的机理。研究表明:随着MBTC投放量的增加,薄膜的晶粒粒径增大,膜层表面粗糙度增大,膜厚增加,雾度随之增加,同时晶粒趋向于(200)面生长;另一方面,随着雾度增加,透过率有所下降,薄膜的雾度与透过率是一对矛盾关系,高雾度和高透过率难以同时实现。

关 键 词：掺氟氧化锡玻璃  雾度 透过率 在线化学气相沉积法  

分 类 号：TG171]