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基于有限元分析的MEMS热电制冷器仿真设计研究
Study of simulation design of MEMS thermoelectric cooler based on finite element analysis
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京工业大学电子与信息工程学院,江苏南京210009 [2]江苏英特神斯科技有限公司,江苏南京210032
年 份：2013
卷 号：32
期 号：12
起止页码：55-57
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2013_2014、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：优化的结构对设计具有较高热电转换效率的微型MEMS热电制冷器具有重要的意义。应用伽辽金有限元法构造了热电效应的耦合控制方程组,通过计算机仿真,采用数值计算的方法考察了微型MEMS热电制冷器模型中P,N级材料长短,横截面积和基底材料厚度的变化对微型MEMS热电制冷器件热电转换效率的影响,对设计高效的微型MEMS热电制冷器件提供了一种理论依据。
关 键 词：微机电系统 热电制冷器 有限元分析 塞贝克效应 帕尔贴效应
分 类 号：TP39]
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