文献类型：期刊文章

作　　者：冯瑞婷[1,2,3] 李俊漾[1,2,3] 温廷敦[1,2,3] 许丽萍[1] 李乾利[1]

机构地区：[1]中北大学理学院物理系,太原030051 [2]中北大学微米纳米技术研究中心,太原030051 [3]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：国家自然科学基金项目(60776062;50730009)

年　　份：2013

卷　　号：26

期　　号：8

起止页码：1073-1077

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用镜像异质三周期光子晶体的介观压光效应,用其来代替传统压阻式加速度传感器中的压敏电阻膜,设计出一种新型的高灵敏度加速度传感器。该加速度传感器采用四端固定梁结构,有效地消除了偏轴效应,具有很好的稳定性,在室温下其可测量的加速度范围为0~137 g n。利用ANSYS软件对所设计的光子晶体加速度传感器进行静态分析和模态分析。可以看出在悬臂梁根部具有最大的应变值,而且第一模态频率与其他模态频率相差较大,可以有效降低交叉耦合。将光子晶体置于悬臂梁根部具有最大的感应灵敏度。这种加速度计具有很大的优势运用到以后的航天,军事等领域。

关 键 词：光子晶体 介观压光  加速度传感器 有限元模拟

分 类 号：O437]