文献类型：期刊文章

作　　者：臧源[1] 李连碧[2] 林生晃[1] 曹琳[1]

机构地区：[1]西安理工大学自动化学院电子工程系,西安710048 [2]西安工程大学应用物理系,西安710048

出　　处：《固体电子学研究与进展》

基　　金：陕西省自然科学基金资助项目(2012JQ8009);陕西省教育厅自然科学专项基金资助项目(12JK0546);西安工程大学博士科研启动基金资助项目(BS1129)

年　　份：2013

卷　　号：33

期　　号：5

起止页码：410-414

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2013_2014、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：使用物理气象沉积法生长了轻Al掺杂6H-SiC样品,并使用超导量子干涉磁强计(SQUID)对无腐蚀及腐蚀后的样品进行了测试,发现了腐蚀后的样品在室温下表现出铁磁性。经过计算,样品磁信号并非来源于腐蚀剂KOH及K2CO3。同时腐蚀后的样品形貌表明杂质聚集在腐蚀后的缺陷附近从而形成了一定的铁磁性,因此缺陷被腐蚀放大是样品形成铁磁性的主要原因。

关 键 词：6H-SIC AL掺杂 铁磁性

分 类 号：O482.523]