期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南京工业大学材料科学与工程学院,江苏南京210009 [2]南京工业大学高技术研究院,江苏南京210009
年 份:2013
卷 号:33
期 号:5
起止页码:13-15
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2011、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、ZGKJHX、核心刊
摘 要:Cl-是镀铜工艺中必不可少的一种添加剂,它对镀层的光亮度和机械强度等都有很大的影响。采用酸性硫酸盐体系电沉积制备镀铜层,用XRD分析了Cl-对镀铜层织构的影响。结果表明:Cl-对镀层(111)晶面的织构系数没有影响;随着Cl-的质量浓度的增加,(220)晶面的织构系数出现先增后降的趋势。在铜酸比1∶1,电流密度4A/dm2,Cl-80mg/L,电解温度40℃,电解时间50min的条件下,可以获得高择优取向的镀铜层。
关 键 词:Cl- 电沉积 织构 X射线衍射
分 类 号:TQ153]
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