文献类型：期刊文章

作　　者：窦娜娜[1] 王涵[1] 张蓓[2] 宋西平[1]

机构地区：[1]北京科技大学新金属国家重点实验室,北京100083 [2]北京科技大学数理学院物理系,北京100083

出　　处：《金属热处理》

年　　份：2013

卷　　号：38

期　　号：8

起止页码：14-20

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用直流溅射仪制备了纳米金薄膜,并通过随后的退火处理得到了纳米金颗粒,研究了不同衬底、溅射时间、退火温度及时间对纳米金颗粒形成的影响规律。结果表明,衬底对纳米金的形成有显著的影响,形核质点多的载玻片比单晶硅片更容易形成细小的纳米金颗粒;溅射时间越短,退火温度愈高,纳米金薄膜愈容易球化;在溅射30 s、400℃保温60 min的条件下得到了直径为8～12 nm的金颗粒。根据金的表面能、表面张力以及金原子的扩散等因素讨论了纳米金颗粒的形成机制。

关 键 词：溅射工艺  纳米金 形成机制  

分 类 号：TG111]