期刊文章详细信息
浅谈扫描电子显微镜的结构及维护
Structure and maintenance of scanning electron microscope
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州大学分析测试中心,苏州215123
年 份：2013
期 号：4
起止页码：91-93
语 种：中文
收录情况：CAS、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：主要介绍了钨灯丝扫描电子显微镜和场致发射扫描电镜基本结构中的异同及性能的差异,并以HI-TACHI S-4700为例介绍了对扫描电子显微镜的维护工作。
关 键 词：钨灯丝扫描电镜 场发射扫描电镜 结构 维护
分 类 号：TN16]
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