文献类型：期刊文章

作　　者：王聪[1] 刘玉荣[1,2] 李星活[3] 苏晶[1] 姚若河[1,2]

机构地区：[1]华南理工大学电子与信息学院,广东广州510640 [2]华南理工大学广东省短距离无线探测与通信重点实验室,广东广州510640 [3]汕尾职业技术学院电子信息系,广东汕尾516600

出　　处：《华南理工大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61076113;61274085);广东省自然科学基金资助项目(8451064101000257)

年　　份：2013

卷　　号：41

期　　号：6

起止页码：11-16

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为促进氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT)在有源驱动平板显示领域中的实际应用,以高纯氧化锌(ZnO)为靶材,采用射频磁控溅射法沉积ZnO薄膜作为半导体活性层,制备出ZnO-TFT,研究了可见光诱导引起的器件特性的不稳定性.实验结果表明:在可见光照射下,该ZnO-TFT器件呈现出一定程度的不稳定性;随着光照强度的增加,迁移率稍有增大,阈值电压有微弱的减小;漏电流的相对变化量受栅电压控制,即在开态时相对变化量较小,对于2210 lx的照射强度,相对变化量的最小值为0.58,而在亚阈值区和关态时,漏电流受光照强度的影响较大,在相同强度的光照射下相对变化量的最大值为36.29.对可见光诱导不稳定性恢复过程的研究发现,光照关断后的恢复过程相对缓慢,且随时间呈现出先快后慢的现象.

关 键 词：薄膜晶体管 氧化锌 光诱导 稳定性

分 类 号：TN321.5]