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电镀金刚石线锯切割单晶硅的试验研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]胜利海洋钻井公司 [2]胜利钻井工艺研究院 [3]胜利钻井技术公司职工培训中心
年 份：2013
卷 号：34
期 号：5
起止页码：49-49
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文利用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了切割试验,研究了锯丝运动速度、工件进给力对材料加工质量、加工效率、锯切力的影响。研究发现,单晶硅加工表面存在划痕和凹坑,材料为脆性去除。加工效率随锯丝运动速度、工件进给力的增大而提高。锯丝运动速度增加,锯切力减小;工件进给力增大,锯切力也增加。最后通过正交实验对工艺参数进行了优化。
关 键 词：单晶硅 电镀金刚石线锯 试验研究
分 类 号：TQ127.2]
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