文献类型：期刊文章

作　　者：陈明方[1] 邹平[1] 韩钢[2] 侯伯民[2]

机构地区：[1]东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳110819 [2]沈阳职业技术学院电气工程系,辽宁沈阳110045

出　　处：《东北大学学报（自然科学版）》

基　　金：辽宁省自然科学基金资助项目(20102067);沈阳市科技局重点科技攻关项目(F11-008-2-00);沈阳市科技局工业科技攻关项目(F11-001-2-00)

年　　份：2013

卷　　号：34

期　　号：6

起止页码：875-879

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：在超精密加工中,需要亚微米乃至纳米级的定位,而常规的伺服电机驱动、精密滚珠丝杠传动方案的定位精度一般只能达到微米级.为提高数控进给装置的定位精度,在原有伺服进给定位装置的基础上,总结现有微定位补偿机构设计的不足,提出新的闭环伺服精密微位移补偿控制方案,以显著减小数控伺服进给装置的定位误差.设计的压电驱动微定位工作台具有纳米级位移分辨率和定位精度,静、动刚度好.试验表明,本系统设计的10μm行程微定位平台能很好地补偿数控滚珠丝杠副定位偏差,实现超精密加工的超精密进给要求.

关 键 词：微定位 TMS320F28335 电涡流 高精数据采集  进给装置

分 类 号：TG663]