文献类型：期刊文章

作　　者：邓福铭[1] 赵晓凯[1] 吴学林[1] 邹波[1] 张丹[1] 陆绍悌[1]

机构地区：[1]中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京100083

出　　处：《硬质合金》

基　　金：国家自然科学基金(No.51172278);科技人员服务企业行动计划项目(2009GJA00033);北京市教委共建项目(2010-583)

年　　份：2013

卷　　号：30

期　　号：2

起止页码：59-65

语　　种：中文

收录情况：CAS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：在自制不锈钢钟罩式HFCVD设备上，以CH3COCH，和H2为气源，采用热丝CVD法在经过碱酸两步法预处理后的YG6硬质合金基体上制备了微米金刚石涂层：利用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计、维氏硬度计检测涂层的形貌结构、成分、附着性能和硬度，着重考察了碳源浓度对涂层质量的影响。结果表明过低碳源浓度造成涂层晶粒间存在缝隙，而过高的碳源浓度会使涂层晶粒细化，同时非金刚石相成分增加。以两步法工艺预处理基体，当碳源浓度为2％、沉积功率为4kW、反应气压3kPa、衬底温度为800℃、热丝基体距离为5mm时，经4h生长，可获得厚度为5．36μm、平均硬度HV为8143．09、平均粒径1~2恤m、纯度高、附着性能良好的微米金刚石涂层。

关 键 词：热丝化学气相沉积 硬质合金 金刚石涂层 基体预处理工艺  碳源浓度

分 类 号：TQ164]