文献类型：期刊文章

作　　者：刘加凯[1] 齐杏林[1] 冯建伟[2] 徐龙[3] 肖东[4]

机构地区：[1]军械工程学院弹药工程系,河北石家庄050003 [2]武警工程大学装备工程学院,陕西西安710086 [3]78465部队,四川广元628000 [4]66440部队,河北石家庄050081

出　　处：《军械工程学院学报》

年　　份：2013

卷　　号：25

期　　号：2

起止页码：35-38

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：针对金属类MEMS机构可靠性水平较低且没有标准化的可靠性试验方法的现状，提出将强化试验方法引入金属类MEMS机构的可靠性研究中．确定强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验，并分别设计试验剖面．选取MEMS惯性开关作为典型器件开展试验研究，试验结果表明，所设计的可靠性试验能够有效激发MEMS机构的潜在缺陷，温度应力易引起MEMS器件层间产生疲劳效应，而振动和冲击应力则易引发器件结构性损坏；环境应力对MEMS机构具有疲劳累积效应，经历较多试验类型的样本较经历较少试验类型的样本更容易失效；惯性开关的主要失效模式是分层和变形，这2种失效模式在金属类MEMS机构中具有代表性．

关 键 词：金属MEMS器件  可靠性试验  惯性开关 失效模式

分 类 号：TN4]