期刊文章详细信息
MIM电容研究进展
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海建桥学院机电学院电子工程系,上海201315
年 份：2013
卷 号：32
期 号：2
起止页码：90-91
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。
关 键 词：MIM电容 ALD high-k材料
分 类 号：TM53]
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