文献类型：期刊文章

作　　者：袁欢[1] 徐明[1] 黄勤珍[1] 刘以良[1] 张丽[1]

机构地区：[1]西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室,成都610041

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：四川省学术和技术带头人培养基金(25727501);西南民族大学研究生学位点建设项目(2012XWD-S0805)

年　　份：2013

卷　　号：42

期　　号：3

起止页码：516-520

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20132016328429)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度和涂膜层数对ZnO薄膜结晶性和光学特性的影响。扫描电镜(SEM)结果表明,退火温度的升高使得薄膜致密性和均匀性均得到改善。旋涂10层以上的薄膜其表面形貌明显要好于旋涂5层的薄膜样品,但旋涂10层和20层的薄膜其形貌和微结构差异并不显著。XRD图谱表明所有样品都具有纤锌矿结构,随着热处理温度的升高,各衍射峰强度增大,晶粒尺寸变大。光致发光(PL)测量显示,退火温度越高,涂膜层数越少,其PL谱发光强度越强。紫外-可见透过谱发现,涂膜层数越少,透射率越高;而提高退火温度也有助于改善薄膜透射率。结合已得到的微结构信息,对观察到的光学性能进行了合理解释,综合认为旋涂10层并在600℃退火是溶胶凝胶法制备ZnO薄膜的最佳生长条件。

关 键 词：ZNO薄膜 溶胶-凝胶 透射率 光致发光  

分 类 号：O631]