期刊文章详细信息
利用红外光谱测量氮化镓薄膜的载流子浓度和迁移率
Measuring the carrier concentration and mobility of GaN film withinfrared spectrum
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京科技大学数理学院物理系,北京100083
基 金：北京科技大学研究型教学示范课建设项目(No.JY2011SFK18);北京科技大学教育教学改革研究项目(重点)(No.JG2011Z14)
年 份：2013
卷 号：33
期 号：3
起止页码：4-6
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：利用红外光谱仪无损测量氮化镓薄膜的反射红外光谱,通过拟合计算获得薄膜的载流子浓度以及迁移率.实验测得氮化镓薄膜的载流子浓度为3.204×1018 cm-3,迁移率为2.149×102 cm2/(V.s),该结果与霍尔效应方法测量结果一致.
关 键 词：氮化镓薄膜 载流子浓度 迁移率 红外光谱
分 类 号：O484]
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