文献类型：期刊文章

作　　者：林殷茵[1] 汤庭鳌[1] 黄维宁[1] 姜国宝[1] 姚熹[2]

机构地区：[1]上海复旦大学电子工程系微电子所,上海200433 [2]西安交通大学电子材料研究所,西安710049

出　　处：《无机材料学报》

年　　份：2000

卷　　号：15

期　　号：6

起止页码：1067-1072

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度 ２００℃对 ６００ｐｐｍ ＣＯ的灵敏度可达 ５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和 ２０ｓ．进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通 ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

关 键 词：薄膜  二氧化锡 气敏 透射率 溶胶-凝胶

分 类 号：O484] O614.432[物理学类]