文献类型：期刊文章

作　　者：邢晓[1] 王文军[1] 李淑红[1] 刘云龙[1] 张栋[1] 史强[1] 高学喜[1] 张丙元[1]

机构地区：[1]聊城大学物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东聊城252059

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金(61275147);山东省优秀中青年科学家科研奖励基金(BS2009DX014);山东省科技攻关计划(2010GGX10127);聊城大学重点科研基金资助课题

年　　份：2013

卷　　号：40

期　　号：2

起止页码：178-183

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20131616213341)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用脉冲激光沉积(PLD)的方法在玻璃衬底上制备了二氧化钛薄膜,研究了基片温度和氧压对薄膜表面形貌、晶体结构和光学性能的影响。结果表明:当基片温度低于300℃或高于400℃时,二氧化钛薄膜的折射率都随着基片温度的升高而增大;基片温度处于300℃～400℃之间时,折射率随着基片温度的升高而降低;基片温度为300℃时,折射率最大。薄膜的折射率随着氧压的增大而减小。X射线衍射仪(XRD)显示薄膜在基片温度低于300℃时为非晶态结构,在300℃时出现了锐钛矿结构,当基片温度升高到500℃时,薄膜仍为锐钛矿结构;300℃时,薄膜的A(101)衍射峰最强,结晶度最好。通过原子力显微镜(AFM)图分析得出:低于300℃时,随着基片温度的升高,二氧化钛薄膜的晶粒尺寸增大,聚集密度增大;高于300℃时,晶粒的平均尺寸大小几乎不变,300℃时,晶粒排列最均匀有序。根据薄膜的透射谱计算了薄膜的光学带隙,可知随着基片温度的升高,二氧化钛薄膜的带隙变窄;随着氧压的增大,带隙变宽。

关 键 词：薄膜  TIO2 折射率  基片温度 氧压  透射谱 带隙

分 类 号：O484.4]