文献类型：期刊文章

作　　者：曾鹏[1] 胡社军[1] 谢光荣[1] 黄拿灿[1] 吴起白[1]

机构地区：[1]广东工业大学机械系,广州510643

出　　处：《金属热处理》

年　　份：2000

卷　　号：25

期　　号：8

起止页码：7-9

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2000115398609)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用Ti/Mo复合靶 ,用多弧离子镀技术沉积了 (Ti,Mo) xN多元涂层 ,研究了Mo对该涂层组织与性能的影响。结果表明 ,涂层的主要结构为 (Ti,Mo) 2 N ,其中Mo的固溶度可达 4 56% (质量分数 ) ,并具有较高的显微硬度、抗氧化性和低的孔隙率。在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象 ,这与靶材的结构有关。

关 键 词：多弧离子镀 组织  性能  成分离析  氮化钛 氮化钼

分 类 号：TG174.444]