文献类型：期刊文章

作　　者：龚才[1,2] 代明江[2] 陈明安[1] 韦春贝[2] 侯惠君[2]

机构地区：[1]中南大学材料科学与工程学院,长沙410083 [2]广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所,广州510651

出　　处：《中国表面工程》

年　　份：2013

卷　　号：26

期　　号：1

起止页码：27-33

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别。其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金>H13钢>304不锈钢>TC4钛合金。

关 键 词：真空阴极电弧离子镀  TIN薄膜 液滴 膜  基结合力  

分 类 号：TG174.444] O484.4]