文献类型：期刊文章

作　　者：张晓波[1] 陕皓[1] 刘丽[1] 王连元[1] 李守春[1] 王国光[1]

机构地区：[1]吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室,吉林长春130000

出　　处：《传感器与微系统》

基　　金：吉林省科学技术厅资助项目(20100344);吉林省环境保护厅资助项目(2009-22)

年　　份：2013

卷　　号：32

期　　号：1

起止页码：128-130

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2013_2014、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。

关 键 词：气体传感器 微热板 温度分布 ANSYS

分 类 号：TP212]