期刊文章详细信息
影响铝刻蚀质量的几个因素
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国兵器工业第214研究所
年 份：2000
期 号：3
起止页码：4-6
语 种：中文
收录情况：内刊
摘 要：讨论了刻蚀设备的本底真空度、腔室衬底温度对铝刻蚀速率、各向异性、选择性和光刻胶完整性等主要参数的影响。还了为队去残余物和防止Ａｌ浸蚀而采取的一些措施和方法。
关 键 词：铝刻蚀 本底真空度 大规模集成电路 质量
分 类 号：TN470.57]
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