文献类型：期刊文章

作　　者：肖燕[1] 陈彤[2] 胡永健[2] 韩永萍[1,3] 林亚凯[4] 王晓琳[1]

机构地区：[1]清华大学化学工程系,膜材料与工程北京市重点实验室,100084 [2]北京赛诺水务科技有限公司,100083 [3]北京联合大学生物工程学院,100023 [4]北京赛诺膜技术有限公司,北京100083

出　　处：《水处理技术》

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2009CB623401);国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2009AA062901,2012AA03A604);北京市自然科学基金重大项目(2100001)

年　　份：2013

卷　　号：39

期　　号：2

起止页码：102-106

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、JST、PROQUEST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：半导体废水水质复杂,污染物种类繁多,经过初级物化处理后,仍含大量悬浮物、有机物和无机盐,亟待有效处理并回用。本工作采用MBR-RO中试装置深度处理半导体废水,考察该工艺实现废水回用的可行性。试验结果表明,MBR-RO系统表现出良好的污染物去除效果和运行稳定性,可以耐受废水水质波动的范围大。MBR运行稳定,膜的渗透性易于恢复,维护性清洗周期较长(大于16 d)。MBR出水已检测不到SS,其SDI15和COD的平均值分别为2.3和10.6 mg/L,水质满足RO进水设计要求。采用HCl调节RO进水pH,同时投加阻垢剂MAS208A有助于减缓RO膜污染。RO出水水质优良,电导率为26～142μS/cm,TOC质量浓度小于0.2 mg/L,符合生产回用水要求,表明MBR-RO组合工艺实现半导体废水回用是可行的。

关 键 词：半导体废水  回用 MBR RO  可行性

分 类 号：X703.1]