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激光干涉法微位移测量技术综述
Review of High-resolution Measuring Method of Displacement Using Laser Interferometer
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京100095
基 金：国家"十一五"技术基础计量科研项目资助(J052010C001)
年 份：2012
卷 号：32
期 号：6
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：激光干涉法位移测量技术具有可溯源、分辨力高、测量速度快等独特优势,是目前和近期纳米级以上分辨力位移测量的主流技术。本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍,重点讨论了高分辨力干涉微位移测量技术,并对各种干涉仪的特点进行了分析。
关 键 词：微位移测量 高分辨力 可溯源 激光干涉仪
分 类 号：TB921] TH744.3]
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