期刊文章详细信息
薄膜高温热流测量技术研究
The Research of Heat Flux Film Sensor Under High Temperature Environment
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙410111 [2]空军驻湖南地区军代室,长沙410110
年 份：2012
卷 号：33
期 号：5
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量。热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器。试验结果表明:该传感器热响应时间可达0.1s,温度可达900℃。
关 键 词：薄膜 热流检测 离子束溅射 高温 快速响应
分 类 号：TP212]
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