文献类型：期刊文章

作　　者：冀国俊[1] 李敏[1] 史志铭[2] 冯蕾[3] 赵鸽[2]

机构地区：[1]内蒙古工业大学理学院力学系 [2]内蒙古工业大学材料科学与工程学院 [3]内蒙古工业大学土木工程学院,呼和浩特010051

出　　处：《内蒙古工业大学学报（自然科学版）》

基　　金：内蒙古自治区高等学校科学技术研究项目资助课题(NJ10075);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20111514120004)

年　　份：2012

卷　　号：31

期　　号：3

起止页码：15-19

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：本文采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基体表面制备了一、二、三层ZrO2薄膜。X射线衍射(XRD)分析表明,经500℃烧结热处理后ZrO2的晶体结构为单斜相和四方相的混合相。通过原子力显微镜(AFM)对ZrO2薄膜的厚度和表面形貌进行研究表明,一、二、三层ZrO2薄膜的厚度分别约为50nm、80nm和100nm;并且,随着薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜表面由多孔结构变为紧密、均匀分布的颗粒状结构,薄膜的表面粗糙度也逐渐减小。

关 键 词：二氧化锆薄膜  溶胶-凝胶 AFM

分 类 号：O484.5]