文献类型：期刊文章

作　　者：张宝武[1] 马艳[2] 张萍萍[2] 支理想[1] 李思荣[1] 周晋羽[1] 陈辰[1] 高毓琨[1]

机构地区：[1]中国计量学院计量测试工程学院,杭州310018 [2]同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海200092

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10972210);浙江省科技计划资助项目(2011R10094);上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室开放基金资助项目(ammt2011A-3);中国计量学院开放实验基金资助项目

年　　份：2012

卷　　号：36

期　　号：6

起止页码：810-813

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于标量光学理论,采用数值计算对直边衍射情况下高斯激光驻波场特性进行了仿真。结果表明,高斯激光的直边衍射效应会呈现与平面光波相似的强度振荡现象,两者直边衍射后的第1个强度突变分别为中轴线强度的1.18倍和1.37倍;随着束腰的增大,高斯激光的衍射越接近平面波;中轴线和基片表面距离会影响高斯激光截面进入直边几何阴影之外的大小;直边衍射后入射波和其经过反射镜作用的反射波相遇叠加在光轴方向上会形成稳定的驻波;这种驻波的强度在垂直光轴截面上呈现一定的衍射特性。该研究有利于理解直边衍射时高斯驻波场形成的实质;并可通过适当的激光参量来调整实验激光驻波场结构。

关 键 词：激光技术 激光驻波场 直边衍射  高斯激光  

分 类 号：O435]