文献类型：期刊文章

作　　者：胡霖[1] 胡建军[1,2] 林国强[1] 张林[1,3] 孙刚[3] 马国佳[1,3]

机构地区：[1]大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连116024 [2]萍乡高等专科学校机械电子工程系,萍乡337000 [3]北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2012

卷　　号：32

期　　号：10

起止页码：872-877

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20124815724411)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用电弧离子镀技术在TCA钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN／CrN薄膜，对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征。结果表明，薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜，薄膜的调制周期为60nm，总的厚度约为480nm。与基体钛合金相比，镀膜后样品的表面性能与偏压幅值密切相关并有显著提高：显微硬度从基体的3GPa提高到16．5-24．7GPa；摩擦系数从基体的0．35大幅度降低到0．14—0．17；薄膜与基体结合牢固，膜基临界载荷在60-80N之间。经电弧离子镀TiN／CrN纳米多层薄膜处理后，TC4钛合金可以满足沙粒和尘埃磨损条件下的耐磨性能要求。

关 键 词：TC4钛合金 电弧离子镀 TiN/CrN纳米多层薄膜  

分 类 号：TG174.444]