期刊文章详细信息
多晶硅制备中节能降耗技术的研究
Study on energy-saving and consumption-reducing technologies in polycrystalline silicon preparation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]南京大学固体微结构物理国家重点实验室,江苏南京210093
年 份：2012
卷 号：48
期 号：9
起止页码：28-30
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：探讨改良西门子法多晶硅工艺中副产物的综合利用、优化沉积工艺、优化与开发新型高效节能大型还原炉和新型高反射涂层等技术对多晶硅生产中节能降耗的影响,指出将目前已普遍使用和发展成熟的过程强化技术应用于多晶硅制备,可进一步降低多晶硅的制备成本。
关 键 词：多晶硅 改良西门子法 节能降耗
分 类 号：TQ127.2]
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