文献类型：期刊文章

作　　者：刘晓菲[1] 王小平[1] 王丽军[1] 杨灿[1] 王子凤[1]

机构地区：[1]上海理工大学理学院,上海200093

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：上海市人才资金(2009023);上海市大学生创新活动计划(SH1110252155)资助课题

年　　份：2012

卷　　号：49

期　　号：10

起止页码：22-31

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：主要对目前国际上研究较多的几种透明导电薄膜,如金属膜、透明导电氧化物(TCO)薄膜(In2O3基、SnO2基、ZnO基及TiO2基薄膜)、p型材料及多层膜的性能、制备工艺、研究现状及最新进展进行了较为详细的阐述。介绍了一些较为特殊的透明导电薄膜材料。展望了透明导电薄膜未来的研究方向及发展前景。

关 键 词：薄膜  透明导电薄膜 金属膜 透明导电氧化物薄膜 多层膜

分 类 号：O484.4]