文献类型：期刊文章

作　　者：田爱玲[1] 郑显锋[1,2] 刘丙才[1] 王红军[1] 王春慧[1] 郑颖[3]

机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院,西安710032 [2]西安航天计量测试研究所,西安710100 [3]西安航空技术高等专科学校,西安710065

出　　处：《西安工业大学学报》

基　　金：国家自然科学基金(51075322);西安市科技计划(CXY1013);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目;陕西省教育厅科学研究计划项目(11JK0904;09JK487)

年　　份：2012

卷　　号：32

期　　号：6

起止页码：431-436

语　　种：中文

收录情况：CAS、IC、UPD、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪器的局部改装,实现对三个平面的三维面型测量的一种改进的三平面互检法.将改进的三平面互检法的结果取其纵向面型信息与ZYGO干涉仪中three-flats程序直接测得的三个平面纵向面型的测量结果进行比较,结果PV值误差在0.001λ以内.验证了此法的准确性和可行性,为干涉法测量高精度面型技术的发展提供有力的支持.

关 键 词：干涉测量  绝对检验  三平面互检  方位角平均算法  

分 类 号：TH744.3]