期刊文章详细信息
镱薄膜应力传感器的工艺研究
Technological Study of Ytterbium Film Stress Sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]信息产业部电子第五研究所,510610 [2]广东农工商管理学院,510507 [3]信息产业部电子第四十八研究所,410000
年 份：2000
期 号：5
起止页码：9-11
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了镱薄膜应力传感器的工艺设计和制造过程 ,通过传感器的静态、动态标定及材料测试 。
关 键 词：应力传感器 镱薄膜 蒸发 工艺研究
分 类 号：TH823.032[仪器类] TP212]
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