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CVD金刚石涂层拉丝模的研制与应用
Fabrication and Application of CVD Diamond-coated Drawing Die
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学微电子技术研究所,200052
基 金：国家 8 63计划新材料领域资助项目!(项目编号 :715 0 0 2 0 0 10 )
年 份：2000
卷 号：34
期 号：4
起止页码：13-15
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSA、CSA-PROQEUST、IC、ZGKJHX、核心刊
摘 要：:以市售大孔径 (>2mm)硬质合金拉丝模为衬底 ,经酸腐蚀去钴、研磨和还原处理后 ,以氢气和丙酮为原料 ,用穿孔直拉热丝CVD法制备了金刚石涂层。利用扫描电镜和喇曼谱图对涂层均匀性进行了评估。初步应用试验表明 ,金刚石涂层的附着力能满足实际拉伸要求 ,涂层拉丝模的工作寿命可提高 3～ 5倍。
关 键 词：金刚石涂层 拉丝模 热丝CVD 研制
分 类 号：TG355.4]
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