期刊文章详细信息
双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用
Application of Dual Grating Scales in High Speed and High Precision Displacement Measurement
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州工业职业技术学院电子工程系,江苏苏州215104 [2]苏州印像镭射有限公司,江苏苏州215004
年 份：2012
卷 号：40
期 号：17
起止页码：107-111
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2011、ZGKJHX、核心刊
摘 要：由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2 m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景。
关 键 词：双光栅尺 高速高精度位移测量 FPGA 切换与合成
分 类 号：TP216]
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