期刊文章详细信息
反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度 ( EI收录)
A Reflection Interference Method for Determining Optical Constants and Thickness of a Thin Solid Film
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]复旦大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,上海200433
年 份:2000
卷 号:20
期 号:3
起止页码:283-285
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2004057976700)、IC、INSPEC、JST、PUBMED、RCCSE、RSC、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000088966900009)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:本文报道一种简单的方法 ,从平面介质薄膜的反射干涉光谱来计算薄膜的光学常数和厚度。当一束光照射在基板上的介质膜上时 ,由于膜上下界面反射光的相干 ,会使反射光谱的曲线有一定的波动。我们对反射相干光谱进行理论分析 ,给出计算公式 ,从测量曲线中的实验值得出薄膜的光学常数 n、k以及厚度等参数。此种方法简单可行 ,而且易于编程处理。
关 键 词:薄膜 反射干涉光谱 折射率 厚度
分 类 号:O484.41] O484.5[物理学类]
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