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金刚石薄膜CVD制备方法及其评述
DISCUSSION ON SYNTHETIC METHODS OF DIAMONDTHIN FILMS BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郑州航空工业管理学院应用科学系,河南郑州450052
基 金：国家自然科学基金资助项目!(59882005)
年 份：2000
卷 号：6
期 号：2
起止页码：80-85
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：较系统地介绍了低压下化学气相合成(CVD)金刚石薄膜的主要方法 。
关 键 词：金钢石薄膜 化学气相沉积 等离子体 制备
分 类 号：O613.71] TB43[化学类]
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