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期刊文章详细信息

AlN陶瓷的薄膜金属化及其与金属的焊接研究    

Surface Metallization and Welding of Aluminum Nitride Ceramic

  

文献类型:期刊文章

作  者:鲁燕萍[1] 高陇桥[1]

机构地区:[1]信息产业部电子第十二研究所,北京100016

出  处:《真空科学与技术》

年  份:2000

卷  号:20

期  号:3

起止页码:190-193

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD_E2011_2012、核心刊

摘  要:针对AlN陶瓷在微波管中的应用特点 ,采用磁控溅射镀膜方法对AlN陶瓷进行表面金属化 ,并与无氧铜焊接 ,测试焊接体的抗拉强度并对陶瓷 金属接合界面进行了微观分析。

关 键 词:磁控溅射 焊接  金属 ALN陶瓷 表面金属化

分 类 号:TQ174.758] TG457]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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