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集成微光机电系统研究现况及其产业化前景
RESEARCH AND INDUSTRIALIZATION OF INTEGRATED MICRO OPTO MECHATRONICS SYSTEMS, THE PRESENT AND FUTURE
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海200050
年 份：2000
卷 号：6
期 号：1
起止页码：1-6
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ;在此基础上 。
关 键 词：微电子机械系统 微系统 信息系统 产业化
分 类 号：TH－39[机械类]
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