期刊文章详细信息
西门子工艺制备多晶硅体系的热力学分析
Thermodynamic Qualitative Analysis of Advanced Siemens Process of Polysilicon Preparation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川大学化工学院,四川成都610065 [2]宜宾学院化学与化工系,四川宜宾644007
基 金：国家自然科学基金项目(11075113)
年 份：2012
卷 号：29
期 号：7
起止页码：31-34
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：利用吉布斯自由能理论对西门子体系进行了热力学分析,梳理了体系中可能发生的系列化学反应。结果表明,多晶硅生产主反应为裂解反应而非还原,SiHCl3裂解生成SiCl2(g)和HCl(g),进而生成Si和SiCl4(g)。这不仅合理地解释了实际生产中副产大量四氯化硅等问题,而且为优化还原工艺提供了有价值的科学依据。
关 键 词：多晶硅 西门子工艺 热力学分析 反应机理
分 类 号：TQ127.2]
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