期刊文章详细信息
退火温度对制备ZnO薄膜光电学性质的影响
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]福建大学物理与信息工程学院,福州350002
年 份：2012
卷 号：10
期 号：10
起止页码：86-87
语 种：中文
收录情况：JST、NSSD、普通刊
摘 要：采用溶胶—凝胶法在ITO玻璃衬底上制备氧化锌(ZnO)薄膜,利用AFM和UV对不同退火温度的ZnO薄膜样品进行分析。经实验的表征结果分析,退火温度为500℃～700℃区间,透射率呈现先上升后下降的趋势,而禁带宽度基本保持不变。通过实验结果对比得出,当退火温度为550℃时,制备出的ZnO薄膜的结晶质量较好,表面较光滑,透射率约为90%,禁带宽度为3.25eV,
关 键 词：ZNO薄膜 溶胶—凝胶法 退火温度
分 类 号：O484]
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