文献类型：期刊文章

作　　者：姜海青[1] 王连星[2] 赵世民[2] 惠春[1]

机构地区：[1]西安电子科技大学技术物理学院,陕西西安710071 [2]西北轻工业学院材料工程系,陕西咸阳712081

出　　处：《功能材料》

年　　份：2000

卷　　号：31

期　　号：3

起止页码：278-280

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面均匀、致密 ,薄膜材料晶粒尺寸大约为 5 0～ 2 0 0nm左右 ,薄膜可见光透光率最大可达 99% ;对薄膜的厚度以及电学性能进行了测定后发现 :单次镀膜厚度约为 3 0～ 5 0nm ,Al3 + 离子掺杂型氧化锌薄膜的电阻率在 2 .5 2× 10 -3 ～ 2 .94× 10 -3 Ω·cm范围内 ,其霍尔系数在 6.2 5× 10 -7～ 2 .3 6× 10 -7cm3 /C范围内 ,载流子浓度在 1×10 2 5～ 2 .64× 10 2 5cm-3 范围内 ,霍尔迁移率在 2 .48× 10 -4 ～ 8.0 3× 10 -5cm2 /V·s范围内 ,在太阳能电池透明光电极领域中极具潜在的应用价值。

关 键 词：溶胶-凝胶法 Al^3+离子掺杂  ZNO薄膜

分 类 号：TN304.21]