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期刊文章详细信息

压力传感器的发展、现状与未来    

Past, Today and Future of Pressure Sensor

  

文献类型:期刊文章

作  者:张晓群[1] 吕惠民[2]

机构地区:[1]西安建筑科技大学信控学院,710055 [2]西安理工大学应用物理系,710048

出  处:《半导体杂志》

年  份:2000

卷  号:25

期  号:1

起止页码:47-50

语  种:中文

收录情况:普通刊

摘  要:本文通过大量的数据和资料叙述了压力传感器的发展过程、研究现状和发展趋势 ,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。

关 键 词:压力传感器 耐高温 微机械加工

分 类 号:TP212] TH823.2]

参考文献:

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引证文献:

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二级引证文献:

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同被引文献:

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