期刊文章详细信息
纳米测量技术研究现状与发展趋势
Researches and developments of nanon measurement technique
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学机械工程及自动化系,杭州310027 [2]中国计量学院计量与测控系,杭州310034
基 金：国家自然科学基金
年 份：2000
卷 号：21
期 号：2
起止页码：2-3
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：详细介绍了纳米测量系统的组成 :纳米传感技术、纳米扫描测试系统、信息处理与图像分析技术 ;综述了纳米测量技术国内外现状 ;在此基础上 ,提出了纳米测量需解决的关键技术及今后的发展方向。
关 键 词：纳米测量 扫描隧道显微镜 激光干涉仪
分 类 号：TN247]
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