文献类型：期刊文章

作　　者：张勇[1,2] 贾云海[1,2] 陈吉文[1,2] 刘英[3] 沈学静[1,2] 赵雷[1,2] 王书明[3] 于洪[4] 韩鹏程[1,2] 屈华阳[1,2] 刘少尊[1]

机构地区：[1]钢铁研究总院,北京100081 [2]北京纳克分析仪器有限公司,北京100094 [3]北京有色金属研究总院,北京100088 [4]中国地质科学院矿产资源研究所,北京100037

出　　处：《光谱学与光谱分析》

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ140147)资助

年　　份：2012

卷　　号：32

期　　号：6

起止页码：1441-1446

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20122715199728)、IC、INSPEC、JST、PUBMED、RCCSE、RSC、SCI(收录号：WOS:000305044100001)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000305044100001)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充。

关 键 词：激光诱导击穿光谱 材料科学  表面分析  应用进展  

分 类 号：TB302.1[材料类]