期刊文章详细信息
桥区参数对Ni-Cr薄膜换能元发火性能的影响
Effect of Bridge Parameters on the Firing Sensitivity of Ni-Cr Alloy Thin Film Transducer Elements
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室,陕西西安710061
年 份:2012
期 号:1
起止页码:18-20
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、核心刊
摘 要:依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对设计制作的不同桥区参数的Ni-Cr薄膜换能元进行了发火感度测试。结果显示:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发火电压减小,当桥膜的厚度增加到0.9μm,换能元发火电压又有增加的趋势;当桥膜厚度、桥区形状一定时,随着桥区宽度减小,发火电压降低,但当桥区宽度小于0.10mm时,发火电压反而上升;当桥膜厚度、桥区宽度一定时,桥区长度越长,发火电压越高,而且不同桥区形状对换能元发火感度有明显的影响。
关 键 词:Ni-Cr薄膜 桥区参数 磁控溅射 发火感度
分 类 号:TJ450.4]
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