文献类型：期刊文章

作　　者：宋明歆[1] 殷景华[1,2] 郭海[1,3]

机构地区：[1]哈尔滨理工大学应用科学学院电子科学与技术系,黑龙江哈尔滨150080 [2]哈尔滨理工大学工程电介质及其应用技术教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150080 [3]大连民族学院计算机科学与工程学院,辽宁大连116600

出　　处：《传感器与微系统》

基　　金：黑龙江省教育厅科学技术研究计划资助项目(12511076)

年　　份：2012

卷　　号：31

期　　号：4

起止页码：53-55

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出并设计一种采用绝缘液体充填封装的RF MEMS开关,分析其工作原理,并以高压油、蓖麻油、甘油为绝缘液体充填封装,仿真分析绝缘液体对RF MEMS开关的驱动电压、冲击速度、响应时间、开关电容等方面的影响。结果表明:绝缘液体充填封装有效地将驱动电压降为原来的1/εr,降低上极板对下极板的冲击速度。对3种液态封装材料性能分析,蓖麻油效果最好:阈值电压下降了一半,约为10 V;当驱动电压为20 V时,响应时间为40.6μs,优于高压油(91.3μs)、甘油(89.9μs),冲击速度约为1.26 m/s。

关 键 词：微机电系统 微波开关 封装

分 类 号：TN304]