文献类型：期刊文章

作　　者：陈弟虎[1] 魏爱香[1,2] 周友国[1] 范家海[1] 杨增红[1] 彭少麒[1] 魏爱香[1,2]

机构地区：[1]中山大学物理系,广州510275 [2]海军广州舰艇学院,广州510431

出　　处：《无机材料学报》

年　　份：2000

卷　　号：15

期　　号：1

起止页码：179-182

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI(收录号：2000095312568)、JST、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000086464400032)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数．采用磁过滤真空溅射离子技术，研究不同衬底偏压Ｖｂ（即不同碳离子能量）下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌．结果表明：－５０Ｖ≤Ｖｂ≤－１０Ｖ时，样品表面均匀、光滑，拉曼谱是对称且很宽的散射带;Ｖｂ＞－１０Ｖ或Ｖｂ＜－５０Ｖ时，已有晶团出现，表面粗糙度明显增加，拉曼谱明显地分裂为１５８０ｃｍ－１的Ｇ带和１３５０ｃｍ－１的Ｄ带．

关 键 词：非晶金刚石薄膜 拉曼光谱 表面形貌 半导体薄膜

分 类 号：TN304.18] O484.41]