文献类型：期刊文章

作　　者：李瑞君[1,2] 范光照[1,3] 钱剑钊[1] 黄强先[1] 龚伟[1] 苗晋伟[1]

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009 [2]安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系,合肥230051 [3]台湾大学机械工程学系,台北10617

出　　处：《纳米技术与精密工程》

基　　金：国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2008AA042409）;国家自然科学基金资助项目（50875073）;安徽省教育厅高等学校优秀青年人才基金资助项目（2011SQRL179）.

年　　份：2012

卷　　号：10

期　　号：2

起止页码：125-131

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20121614949833)、INSPEC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

关 键 词：微纳米三坐标测量机  扫描探头  稳定性分析 传感哭喊中  

分 类 号：TP216]