期刊文章详细信息
常规扫描电子显微镜的特点和发展
Characteristics and development of conventional scanning electron microscope
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]合肥工业大学精密仪器系,合肥230009
年 份：2000
期 号：1
起止页码：51-53
语 种：中文
收录情况：CAS、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了常规扫描电子显微镜（SEM）的工作原理、缺陷及采取的改进措施。由此发展起来的环境扫描电子显微镜（FSEM）的性能已大幅度提高，其使用范围和领域大为扩展。
关 键 词：扫描电子显微镜 SEM ESEM
分 类 号：TH74]
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