文献类型：期刊文章

作　　者：凡金星[1] 施正荣[1,2,3] 张光春[1,2,3] 杨健[2] 陈如龙[2] 李果华[1,3]

机构地区：[1]江南大学理学院,江苏无锡214122 [2]无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏无锡214028 [3]江苏省(尚德)光伏技术研究院,江苏无锡214028

出　　处：《半导体技术》

年　　份：2012

卷　　号：37

期　　号：3

起止页码：192-196

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种简单有效的制备双层SiNx薄膜的方法,其薄膜具有良好的减反射钝化特性。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,通过控制SiH4和NH3气体流量比,在p型多晶硅衬底上生长单层及双层SiNx膜。随后使用薄膜测试分析仪测量了薄膜的厚度、折射率及反射率,并用Semilab WT-2000测量少数载流子寿命,通过测量量子效率,对单、双层膜电池进行了比较。实验结果表明:相比单层减反射钝化膜,采用双层SiNx膜,少数载流子寿命可以得到更好的改善,开路电压可提高约2 mV,短路电流可提高约40 mA,电池效率能提高0.15%。

关 键 词：双层SiNx  等离子体增强化学气相沉积 减反射膜 太阳电池 少数载流子寿命

分 类 号：TM914.4]