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期刊文章详细信息

数控抛光技术中抛光盘的去除函数    

Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing

  

文献类型:期刊文章

作  者:王权陡[1] 刘民才[2] 张洪霞[3]

机构地区:[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022 [2]成都精密光学工程研究中心,成都610041 [3]柯尼卡(大连)有限公司,大连116000

出  处:《光学技术》

基  金:中国工程物理研究院基金

年  份:2000

卷  号:26

期  号:1

起止页码:32-34

语  种:中文

收录情况:CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘  要:抛光盘去除函数的确定是数控抛光技术的应用基础,以Preston 方程为基础,应用运动学原理推导了抛光盘在行星运动及平转动两种运动方式下的材料去除函数,并通过计算机模拟出相应的工作特性曲线。结果表明,两种运动方式下工作特性曲线均在不同程度上趋近于高斯曲线。因而行星运动及平转动都可作为抛光盘的运动方式应用在CCOP技术中,使加工中的面形误差得到收敛。

关 键 词:数控抛光  去除函数 特性曲线  非球面 抛光盘  

分 类 号:TG580.692]

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同被引文献:

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